由于擺閥門(mén)的腐蝕環(huán)境中出色的可靠性,正常運行的過(guò)程可以顯著(zhù)增加,達到更高的產(chǎn)量。半導體制造商正在積極努力降低成本,提高系統運行時(shí)間,延長(cháng)服務(wù)時(shí)間,并減少日常服務(wù)操作所需的時(shí)間。首先,他們要求能適應過(guò)程。重點(diǎn)是快速吞吐量和高度不同類(lèi)型的小批量生產(chǎn)。許多控制閥不能滿(mǎn)足所有這些要求。維持一個(gè)穩定的過(guò)程壓力是另一個(gè)血漿中的重要性日益增強的要求,蝕刻和沉積過(guò)程。壓力穩定,導致吞吐量的增加,改善微觀(guān)結構,并在缺陷數量的減少對加工的圓片。
因為在電動(dòng)球閥的表面有保護的涂抹層,這個(gè)是沒(méi)有任何防御作用的,所以要選擇陰涼地方晾干的方式案后再去安裝,在安裝的時(shí)候,管道和零件之間的銜接,不要有傾斜,交叉等不正常的安裝問(wèn)題出現,保持受力的均勻性,可以借助管道支架,或者是其他的一些設備,防止這類(lèi)情況的出現,確保后期操作和使用是完全安全的,并且在操作前也要再次確認管路還有閥門(mén)的清潔是完全徹底的。
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